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检测内孔直线度时，将平面反射镜伸入孔内，利用胀套保证反射镜与内孔垂直。当内孔有弯曲时反射镜将偏转一定的角度，通过反射镜的偏转角度可以计算出内孔的直线度。PSD芯片激光测量法激光器安装在激光器座上，激光器座的尾部有4个螺钉可以对激光的照射角度进行微调。其头部与定心套连接后插入管孔内。位置检测单元的激光位敏传感器安装在传感器座内，传感器座的头部与定心套连接，尾部与推杆连接。通过手动推动推杆可以使位置检测单元在管内孔内移动。无论是实验室环境还是生产车间，都需要采用更的半导体测试方法。半导体测试是NI的战略重点。我们正在扩展我们的软件平台和PXI功能，以帮助芯片制造商应对他们面临的挑战，这一点通过NI的PXISMU可以体现出来。”由于其高吞吐量、高性价比和占地面积小，NI的半导体测试系统(STS)正在快速应用到芯片生产中。全新的PXIe-4163SMU则进一步增强了这些功能，它能提供更高的直流通道密度，使多站点应用具有更高的并行性，以及在生产中提供实验室级别的测量质量。
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