半导体生产流程由晶圆制造,晶圆测试,芯片封装和封装后测试组成,晶圆制造和芯片封装讨论较多,而测试环节的相关知识经常被边缘化,下面集中介绍集成电路芯片测试的相关内容,主要集中在WAT,CP和FT三个环节。集成电路设计、制造、封装流程示意图WAT(WaferAccetanceTest)测试,也叫PCM(ProcessControlMonitoring),对Wafer划片槽(ScribeLine)测试键(TestKey)的测试,通过电性参数来监控各步工艺是否正常和稳定,CMOS的电容,电阻,Contact,metalLine等,一般在wafer完成制程前,是Wafer从Fab厂出货到封测厂的依据,测试方法是用ProbeCard扎在TestKey的metalPad上,ProbeCard另一端接在WAT测试机台上,由WATRecie自动控制测试位置和内容,测完某条TestKey后,ProbeCard会自动移到下一条TestKey,直到整片Wafer测试完成。它们具有非常线性(在1kHz/94dBSPL时,总谐波失真(HarmonicDistortion,简称HD)为.1﹪或更优),且动态范围也很宽(通常优于3dBA至12dBA)。此外,MEMS麦克风对温度变化的敏感性很小,同样地,它们的麦克风振膜小巧轻薄,以至于对振动的敏感性比静电式麦克风低1倍以上。另外,MEMS麦克风大规模供应消费电子市场,因此价格也非常便宜。它们的灵敏度随时间变化依然非常稳定,通常不需要重新校准即可保持在I型规范的范围内。
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